橫向抗彌散多光譜TDI CCD圖像傳感器
作者：廖乃鏝; 劉緒化; 劉昌林; 張明丹; 李仁豪; 李金; 何達(dá) 重慶光電技術(shù)研究所; 重慶400060; 海裝廣州局; 廣州510000
摘要：時(shí)間延遲積分電荷耦合器件(TDI CCD)主要應(yīng)用于弱光信號探測,其在強(qiáng)光應(yīng)用場合容易出現(xiàn)彌散現(xiàn)象。針對該問題,研制了橫向抗彌散多光譜TDI CCD圖像傳感器。該器件包含四個多光譜段(B1~B4區(qū)),有效像元數(shù)為3 072元,像元尺寸為28μm×28μm。大像元可以在弱光環(huán)境下提供良好的光譜區(qū)分能力,通過濾光片可獲得藍(lán)光、綠光、紅光和近紅外波段的圖像。為了減小抗彌散對器件滿阱電子數(shù)的不利影響,采用了緊湊的抗彌散結(jié)構(gòu),僅占像元面積的7.1%。器件滿阱電子數(shù)為500ke-,抗彌散能力為100倍,讀出噪聲小于等于70e-,動態(tài)范圍大于等于7143∶1。
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半導(dǎo)體光電雜志
半導(dǎo)體光電雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：動態(tài)綜述、光電器件、材料、結(jié)構(gòu)及工藝、光電技術(shù)及應(yīng)用等。于1976年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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