絲網(wǎng)印刷法制備極限電流氧傳感器擴(kuò)散孔的研究
作者：程楚; 王金霞; 簡(jiǎn)家文; 鄒杰 寧波大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院; 浙江寧波315211; 寧波工程學(xué)院; 浙江寧波315211
摘要：為了研究采用絲網(wǎng)印刷法制備的小孔擴(kuò)散障對(duì)極限電流氧傳感器的影響,采用流延法制備8%molY2O3穩(wěn)定ZrO2(8YSZ)膜片;通過(guò)絲網(wǎng)印制法制備了敏感電極和擴(kuò)散障,最后通過(guò)共燒獲得小孔擴(kuò)散障型極限電流氧傳感器。利用掃描電鏡(SEM)等手段對(duì)氧傳感器進(jìn)行物理結(jié)構(gòu)的表征,發(fā)現(xiàn)通過(guò)絲網(wǎng)印刷獲得的傳感器擴(kuò)散障結(jié)構(gòu)良好,多層對(duì)位效果良好。通過(guò)計(jì)算驗(yàn)證了8YSZ電導(dǎo)率能產(chǎn)生足夠大的泵氧電流。進(jìn)一步對(duì)傳感器的氣敏特性進(jìn)行測(cè)試,發(fā)現(xiàn)傳感器具有一定的飽和平臺(tái),工作溫度對(duì)極限電流具有一定的影響,同時(shí)發(fā)現(xiàn)極限電流與氧氣濃度存在正常擴(kuò)散模型的線(xiàn)性關(guān)系。
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傳感器與微系統(tǒng)雜志
傳感器與微系統(tǒng)雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述與評(píng)論、研究與探討、設(shè)計(jì)與制造、計(jì)算與測(cè)試、應(yīng)用技術(shù)等。于1982年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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