多晶硅定向凝固特定熱場模擬實(shí)驗(yàn)研究
作者：朱徐立; 徐隆 廈門城市職業(yè)學(xué)院機(jī)械與自動化工程系; 福建廈門361000
摘要：研究定向凝固對提高多晶硅提純工藝具有重要意義。進(jìn)行全尺寸的多晶硅定向凝固實(shí)驗(yàn)周期長,成本高,采用與液態(tài)硅熱學(xué)、流體力學(xué)性質(zhì)相近的低溫流體進(jìn)行模擬實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)設(shè)備簡單靈活,成本低廉,實(shí)驗(yàn)周期短。采用常規(guī)加熱與新型點(diǎn)狀熱源加熱方式進(jìn)行對比實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,用點(diǎn)狀熱源加熱減少了加熱器的布置數(shù)量,依然可以維持固液界面的水平,較常規(guī)加熱方式降低能耗約37%,可以為多晶硅的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)工藝提供參考。
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化學(xué)工程與裝備雜志
化學(xué)工程與裝備雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：專論與評述、科研與開發(fā)、生化與醫(yī)藥 、生產(chǎn)與實(shí)踐 、人才與教育 、材料科學(xué)、市場研究、現(xiàn)代管理等。于1972年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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